3.2.1. Reference Run의 개요

툴이 정상적으로 설치된 후 측정 이동을 수행하여 기준 데이터를 저장합니다. 이 기준 데이터는 이후 툴 보정을 하기위한 비교 데이터로 사용됩니다. 이러한 기준 데이터를 생성하기 위한 작업이 Reference run 입니다. 각 기준데이터는 측정 dimension 설정에 따라 2D, 3D, 5D로 나누어집니다. 2D는 1회의 double-circle 측정, 3D는 1회의double-circle, oscillation 측정, 5D는 1st double-circle, oscillation, 2nd double-circle측정을 수행합니다