2.8.7. 퍼지 시간 계산

2.8.7. 퍼지 시간 계산

 

- Floor Type   * Internal Volume 204.6 ℓ   * 5 times of Internal Volume 204.6 ℓ ☓ 5 times = 1023 ℓ   * Purge Flow 500NL/min   * Purge Time 1023 ℓ / 500NL/min = 2.04 Min Minimum 3 minutes

 

그림 2.11 퍼지 시간 계산

 

표 2‑6 퍼지 유량표

Supply Pressure	Purge
	P3 (kPa)	P4 (kPa)	Flow(L/Min)
140kPa (1.4 Bar)	3.8	3.6	350
200kPa (2.0 Bar)	4.8	4.2	475
250kPa (2.5 Bar)	5.2	4.4	550
300kPa (3.0 Bar)	6.6	5.4	590
400kPa (4.0 Bar)	8.2	6.0	660
500kPa (5.0 Bar)	9.4	6.6	700